項目信息
項目名稱
中國專利獎
企業名稱
中微半導體設備(上海)股份有限公司
公示時間
項目級別
部委
組織部門
國家知識產權局
年份
2021
課題名稱
等離子體處理裝置及調節基片邊緣區域制程速率的方法
證書編號
ZL201210378282.X
資助金額
-
申報批次
第二十二批
人員名稱
葉如彬、尹志堯、倪圖強、周寧
數據來源
國家知識產權局關于第二十二屆中國專利獎授獎的決定
來源鏈接
http://www.86um.com/news/19270.html